Вращающаяся цилиндрическая мишень из титана

Это компонент, используемый в процессах физического осаждения из паровой фазы (PVD), представляющих собой метод осаждения тонких пленок материала на подложку. Титановая трубчатая мишень изготовлена ​​из чистого титана и имеет форму цилиндра, который вращается во время процесса PVD.

Процесс PVD работает с использованием электрической дуги или магнетронного распыления для испарения целевого материала, в данном случае титана, и осаждения его в виде тонкой пленки на подложку. Вращающаяся цилиндрическая мишень позволяет более равномерно наносить титановую пленку на подложку.

Преимущества использования в процессах PVD включают высокую чистоту осажденной пленки, высокую скорость осаждения и улучшенную адгезию пленки. Титановые вращающиеся мишени для магнетронного распыления изготовлены из высококачественного титанового материала и рассчитаны на высокие температуры и механические нагрузки в процессе PVD.

Введение в спецификацию

Нормальный размер Тип:

Наше преимущество

Поставляемые нами титановые мишени имеют мелкое зерно, равномерное распределение, высокую чистоту, мало включений и высокую чистоту. Осажденная пленка TiN используется в декорировании, инструментальной промышленности, полупроводниковой промышленности и других областях, с хорошей адгезией, равномерным покрытием и яркими цветами.

--Чистота

Для производства квалифицированной титановой распыляемой мишени чистота является одним из ее важных показателей производительности. Чистота титановой мишени оказывает большое влияние на производительность распыляемого покрытия. Чем выше чистота титановой мишени, тем меньше частиц примесных элементов в распыляемой титановой пленке, что приводит к лучшим характеристикам покрытия PVD, включая лучшую коррозионную стойкость и электрические и оптические свойства. Однако в практических применениях титановые мишени для разных целей предъявляют разные требования к чистоте. Материал мишени используется в качестве катодного источника при распылении, а примесные элементы и пористые включения в материале являются основными источниками загрязнения нанесенной пленки. Пористость включений будет в основном удалена во время неразрушающего контроля слитка, а пористые включения, которые не удалены, вызовут разряд во время процесса распыления, тем самым влияя на качество пленки; содержание примесных элементов может быть отражено только в результатах испытаний полного элементного анализа, чем ниже общее содержание примесей, тем выше чистота титановой мишени.

--Плотность

Плотность также является важным фактором при измерении качества титановых мишеней. Чтобы уменьшить пористость в твердом теле мишени и улучшить производительность распыленной пленки, мишень обычно должна иметь более высокую плотность.

Плотность мишени влияет не только на скорость распыления, но и на электрические и оптические свойства пленки. Чем выше плотность мишени, тем лучше эксплуатационные характеристики пленки. Кроме того, увеличение плотности и прочности мишени позволяет мишени лучше выдерживать термические нагрузки во время распыления. Плотность также является одним из ключевых показателей производительности мишени.

--Размер частиц и их распределение

Обычно распыляемые мишени представляют собой поликристаллические структуры с размером зерна порядка нескольких микрометров до нескольких миллиметров. Для одной и той же мишени, чем меньше размер частиц мишени, тем выше скорость распыления мишени; кроме того, мишень с меньшей разницей в размере частиц может распылять пленку с более равномерной толщиной. Исследование показало, что если размер зерна титановой мишени контролировать ниже 100 мкм, а изменение размера зерна поддерживать в пределах 20%, качество распыляемой пленки может быть значительно улучшено.

--кристаллографическая ориентация

Титан имеет плотноупакованную гексагональную структуру. Поскольку атомы титановой мишени легко распыляются вдоль гексагонального плотноупакованного направления атомов во время распыления, для достижения более высокой скорости распыления можно изменить кристаллическую структуру мишени, изменив метод. для увеличения скорости распыления. Кристаллографическое направление титановой мишени также оказывает большое влияние на однородность толщины распыленной пленки.

--Структурная однородность

Структурная однородность также является одним из важных показателей для проверки качества мишени. Для титановых мишеней требуется не только плоскость распыления мишени, но и состав нормального направления, ориентация зерен и средняя однородность размера зерен плоскости распыления. Только таким образом титановая мишень может получить титановую пленку с равномерной толщиной, надежным качеством и постоянным размером зерен одновременно в течение срока службы.

Спецификация кейса

Скорость вращения: мишень должна иметь возможность вращаться со скоростью до нескольких тысяч об/мин, чтобы обеспечить более равномерную скорость осаждения и продлить срок службы мишени.

Охлаждение: титановая трубчатая мишень должна охлаждаться водой, чтобы рассеивать тепло, выделяемое в процессе осаждения, и не допустить повреждения мишени.
Опорная пластина: для поддержки вращающейся цилиндрической мишени и обеспечения электрического контакта обычно используется титановая опорная пластина.
Метод приклеивания: Мишень обычно приклеивается к опорной пластине с помощью диффузионной сварки или других высокопрочных методов приклеивания, обеспечивающих хорошую тепло- и электропроводность.
Чистота: Титановые вращающиеся мишени для магнетронного распыления должны иметь высокий уровень чистоты, чтобы минимизировать примеси в осажденных пленках и обеспечить постоянную производительность. Уровень примесей должен быть менее 1000 частей на миллион (ppm) для большинства применений.

В целом, характеристики вращающейся цилиндрической мишени из титана будут различаться в зависимости от конкретных требований к применению, и мишень можно настроить в соответствии с этими требованиями.

горячая этикетка : Титановые вращающиеся мишени для магнетронного распыления, титановая трубчатая мишень